Teljesítmény szerinti osztályozás:
(1) Nagy-tisztaságú ittrium-oxid kerámia
Az elektronika területén rendkívül magasak az anyagok tisztasági követelményei. A nagy-tisztaságú ittrium-oxid kerámiák (pl. 99,99%-nál nagyobb vagy annál nagyobb tartalom) biztosítják az elektronikai alkatrészgyártó berendezések stabil teljesítményét. A nagy-tisztaságú ittrium-oxid kerámia korongokat példaként tekintve, kiváló korrózióállóságuk, plazmaállóságuk és magas{7}}hőmérsékletállóságuk biztosítja a berendezések stabil működését hosszú ideig magas-hőmérsékletű és zord környezetben, csökkenti a berendezés meghibásodását és az anyagproblémák okozta állásidőt, meghosszabbítja az alkatrészek karbantartási élettartamát és cseréjének gyakoriságát. Ez kulcsfontosságú támogatás a gyártóberendezések stabil teljesítményének biztosításához, a termékminőség garantálásához és a termelés hatékonyságának javításához.
(2) Elektromosan szigetelő ittrium-oxid kerámia
A nagy{0}}feszültségű és nagyáramú reakciókamrákban használt alkatrészek esetében az elektromos szigetelés fontos értékelési mutató. Az ittrium-oxid bevonatok az alumínium-oxid bevonatokhoz képest kiváló elektromos szigetelési tulajdonságaiknak köszönhetően ideális választást jelentenek a stabil berendezésgyártás biztosítására. Példaként az ittrium-oxiddal bevont felső elektródát eloxálással nagy tisztaságú ittrium-oxid port szórja az aljzat felületére, egyenletes és sima bevonatot képezve, magas elektromos szigetelési szilárdsággal, alacsony dielektromos állandóval és nagy ellenállással. Ez hatékonyan megakadályozza az áramszivárgást, csökkenti a jel interferenciáját, és biztosítja az elektronikus berendezések stabil működését extrém körülmények között is. Ezért széles körben használják az elektronikai alkatrészek gyártásában és csomagolásában az elektronikus alkatrészek helyzetének rögzítésére, a rövidzárlatok vagy túlterhelések megelőzésére, valamint az áramkörök normál működésének biztosítására.
Alkalmazási besorolás szerint:
(1) Ittrium-oxid kerámiák modulkomponensekhez
A modulkomponensekhez használt ittrium-oxidot főként elektronikai alkatrészgyártó berendezésekben használják. Példaként az ittrium-oxid kerámia gyűrűket tekintve a plazmafeldolgozó eszközökben az ittrium-oxid gyűrűk szigetelő szubsztrátumként szolgálnak, hatékonyan csökkentve az ívkisülést az eszköz és a földelő rész között. A kvarcgyűrűkkel összehasonlítva az ittrium-oxid gyűrűk kisebb reakciókészségük és magasabb dielektromos állandójuk miatt kevésbé reagálnak az anyagokkal, ami lehetővé teszi az elektromágneses hullámok jobb átvitelét, és egyenletesebb szubsztrátumfeltételeket biztosít az elektronikai alkatrészek gyártásához.
(2) Ittrium-oxid bevonat
Az ittrium-oxid bevonatot szórással vagy bevonattal hordják fel egy tárgy felületére, hogy nagy teljesítményű védőanyagot képezzenek, amely különösen alkalmas olyan berendezésekhez, amelyeknek extrém fizikai és kémiai hatásoknak kell ellenállniuk. Kiváló magas-hőmérsékletállósággal, kopásállósággal és korrózióállósággal rendelkezik, stabil teljesítményt tart fenn magas-hőmérsékletű, nagy-nyomású és erősen korrozív környezetben, jelentősen javítja a berendezések tartósságát és megbízhatóságát, hatékonyan csökkenti az elektronikai alkatrészek gyártása során keletkező részecskeszennyeződést, valamint javítja a berendezések hatékonyságát és gyártási pontosságát.
